我科研人員為氧化鎵晶體管找到新結構方案
2023-02-27 07:12:23 | 來源:云財經 |
(資料圖)
26日從中國科學技術大學獲悉，該校微電子學院龍世兵教授課題組聯(lián)合中科院蘇州納米所加工平臺，分別采用氧氣氛圍退火和氮離子注入技術，首次研制出了氧化鎵垂直槽柵場效應晶體管。相關研究成果日前分別在線發(fā)表于《應用物理通信》《IEEE電子設備通信》上。(科技日報)
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